Konu "İnce filmler -- Fiziksel özellikler" için Tez Koleksiyonu listeleme
Toplam kayıt 1, listelenen: 1-1
-
Nano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerinin yapısal ve elektriksel karakterizasyonu
(Anadolu Üniversitesi, 2010)Bu çalışmada, VOx ince filmler, farklı O2/Ar (%) oranlarda ve 20 - 80 nm kalınlık aralığında DC magnetron reaktif sıçratma tekniği kullanılarak Si/SiO2 altlık üzerine üretilmişlerdir. Üretilen VOx ince filmlerin TCR, ROS ...