Yazar "Ay, Feridun" için Tez Koleksiyonu listeleme
-
Design and realization of ALD grown Al2O3 waveguides for applications in silicon based photonics
Demirtaş, Mustafa (Anadolu Üniversitesi, 2014)Bu tezde silisyum tabanlı fotonik uygulamalarında Atomik Katman Kaplama (AKK-ALD) ile büyütülmüş Al?O? dalga kılavuzlarının tasarım ve gerçeklemesi ele alınmıştır. Al?O? büyütme işlemi ALD kullanılarak yapılmıştır. Farklı ...