| dc.contributor.advisor | Serincan, Uğur | |
| dc.contributor.author | Arpapay, Burcu | |
| dc.date.accessioned | 2010-11-26T16:12:31Z | |
| dc.date.available | 2010-11-26T16:12:31Z | |
| dc.date.issued | 2010 | |
| dc.identifier.uri | | |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/11421/5145 | |
| dc.description | Tez (yüksek lisans) - Anadolu Üniversitesi | en_US |
| dc.description | Anadolu Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, Fizik Anabilim Dalı | en_US |
| dc.description | Kayıt no: 181751 | en_US |
| dc.description.abstract | Bu çalışmada, GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken kuantum kuyulu yapılar fotolitografi ve ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak aygıt haline getirilmiştir. Aygıt üretimi için yarıiletken yapının üzerine aygıt tanımlamaları yapılmış, ıslak aşındırma yöntemi kullanılarak malzeme aşındırılmış ve metal kaplama işlemi sonrasında yapılar paketlenmiştir. Bu basamaklar içerisinde en önemli ve kritik basamak olan ıslak aşındırma yönteminin uygulanması sırasında en uygun karışımın bulunabilmesi için değişik asit karışımları farklı oranlarda kullanılmıştır. Aşındırılan malzemelerin yüzey ve kesit yapıları SEM (taramalı elektron mikroskobu) yöntemiyle detaylı incelenmiştir. Bu çalışmalar sonucunda yüzey kalitesi ve masatepe yapı tanımlamaları için en uygun karışımın sülfürik asit ve sitrik asit olduğu sonucuna varılmıştır. | en_US |
| dc.language.iso | tur | en_US |
| dc.publisher | Anadolu Üniversitesi | en_US |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en_US |
| dc.subject | Galyum arsenür yarıiletkenler | en_US |
| dc.subject | Sülfürik asit | en_US |
| dc.subject | Hidroklorik asit | en_US |
| dc.subject | Sitrik asit | en_US |
| dc.title | GaAs/AlGaAs tabanlı yarıiletken yapılardan aygıt üretimi ve karakterizasyonu | en_US |
| dc.type | masterThesis | en_US |
| dc.contributor.department | Fen Bilimleri Enstitüsü | en_US |
| dc.identifier.startpage | XII, 77 y. : resim + 1 CD-ROM. | en_US |
| dc.relation.publicationcategory | Tez | en_US |
