Gelişmiş Arama

Basit öğe kaydını göster

dc.contributor.advisorÖksüzoğlu, R. Mustafa
dc.contributor.authorÇapar, Ogeday
dc.date.accessioned2010-11-25T15:58:08Z
dc.date.available2010-11-25T15:58:08Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.uri
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11421/5248
dc.descriptionTez (yüksek lisans) - Anadolu Üniversitesien_US
dc.descriptionAnadolu Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, İleri Teknolojiler Anabilim Dalıen_US
dc.descriptionKayıt no: 181929en_US
dc.description.abstractBu çalışmada, VOx ince filmler, farklı O2/Ar (%) oranlarda ve 20 - 80 nm kalınlık aralığında DC magnetron reaktif sıçratma tekniği kullanılarak Si/SiO2 altlık üzerine üretilmişlerdir. Üretilen VOx ince filmlerin TCR, ROS ve özdirençlerinin tespiti için FPP tekniği kullanılarak yapılan ölçümler sonucunda, en yüksek TCR değeri - 3,32 %.C?¹ ve yaprak direnci 5414 k?/? olarak belirlenmiştir. Bu sonuçlara göre, belirlenen TCR değerinin literatürdeki değerlerden yüksek olduğu tespit edilmiştir. Buna rağmen VOx ince filmlerin uygulamalar için sınır değerin çok üzerinde ROS değerine sahip olduğu belirlenmiştir. Elde edilen ölçüm sonuçlarında, filmlerin TCR değerlerinin O2/Ar (%) oranının artışıyla arttığı tespit edilmiştir; fakat kalınlığın değişimi için benzer ilişki tespit edilememiştir. Üretilen VOx ince filmlerde yarıiletken fazdan metalik faza geçiş özelliği tespit edilememiştir. Yapısal özelliklerinin tespiti için kullanılan XRD ve GIXRD teknikleriyle yapılan ölçüm sonuçlarından üretilen VOx ince filmlerin amorf olduğu tespit edilmiştir.en_US
dc.language.isoturen_US
dc.publisherAnadolu Üniversitesien_US
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen_US
dc.subjectOptoelektroniken_US
dc.subjectİnce filmler -- Elektrik özellikleren_US
dc.subjectİnce filmler -- Fiziksel özellikleren_US
dc.titleNano ölçekli vanadyum oksit ince filmlerinin yapısal ve elektriksel karakterizasyonuen_US
dc.typemasterThesisen_US
dc.contributor.departmentFen Bilimleri Enstitüsüen_US
dc.identifier.startpageXIV, 114 y. : resim + 1 CD-ROM.en_US
dc.relation.publicationcategoryTezen_US


Bu öğenin dosyaları:

Thumbnail

Bu öğe aşağıdaki koleksiyon(lar)da görünmektedir.

Basit öğe kaydını göster